La tecnología TFT se desarrolló en la década de 1990. Adopta nuevos materiales y nuevos procesos para la tecnología de fabricación de circuitos totalmente integrados de semiconductores a gran escala. Se utiliza para pantallas planas de cristal líquido (LC), inorgánicas y orgánicas de electroluminiscencia de película delgada (EL y OEL). base. TFT es una oblea no única, como un sustrato de vidrio o plástico (por supuesto, también puede estar en una oblea) a través de procesos de deposición química y pulverización catódica para formar varias películas necesarias para la fabricación de circuitos y circuitos integrados de semiconductores a gran escala (LSIC ) se fabrican procesando las películas. . El uso de sustratos que no son monocristalinos puede reducir en gran medida los costos y es una extensión de los circuitos integrados tradicionales a gran escala a direcciones de gran área, multifunción y de bajo costo. Es técnicamente más difícil fabricar TFT que controlen el rendimiento de conmutación de píxeles (LC u OLED) en sustratos de vidrio o plástico de gran superficie que fabricar circuitos integrados a gran escala en obleas de silicio. Los requisitos para el entorno de producción (el grado de purificación es 100), los requisitos para la pureza de las materias primas (la pureza del gas especial electrónico es 99,999985%) y los requisitos para el equipo de producción y la tecnología de producción superan la integración a gran escala de semiconductores. . Es la cima de la producción moderna a gran escala. tecnología. Sus principales características son:
(1) Área grande: La primera generación de la línea de producción de sustrato de vidrio de área grande (300 mm × 400 mm) TFT-LCD se puso en producción a principios de la década de 1990. En la primera mitad de 2000, el área del sustrato de vidrio se había expandido a 680 mm x 880 mm) y el tamaño del sustrato de vidrio era de 950 mm x 1200 mm. También se pondrá en funcionamiento el sustrato de vidrio. En principio, no hay limitación de área.
(2) Alta integración: el chip TFT de 1,3 pulgadas utilizado para la proyección de cristal líquido tiene una resolución XGA que contiene millones de píxeles. El grosor de la película de silicio amorfo de matriz TFT de 16,1 pulgadas con una resolución de SXGA (1280 × 1024) es de solo 50 nm, y las tecnologías TAB ON GLASS y SYSTEM ON GLASS, la integración de su IC, los requisitos de equipos y tecnología de suministro , y la dificultad técnica Todos superan el LSI tradicional.
(3) Funciones potentes: TFT se utilizó por primera vez como un circuito de ubicación de matriz para mejorar las características de la válvula de luz de los cristales líquidos. Para pantallas de alta resolución, a través de la regulación de voltaje en el rango de 0-6 V (típicamente de 0,2 a 4 V), se logra un control preciso del objeto, lo que hace posible que la pantalla LCD logre pantallas de alta calidad y alta resolución. TFT-LCD es la primera pantalla plana en la historia de la humanidad que supera a CRT en calidad de visualización. Y la gente comienza a integrar el controlador IC en el sustrato de vidrio, y la función de todo el TFT será más poderosa, lo que no se compara con los circuitos integrados tradicionales de semiconductores a gran escala.
(4) Bajo costo: el sustrato de vidrio y el sustrato de plástico resuelven fundamentalmente el problema del costo de los circuitos integrados de semiconductores a gran escala y abren un amplio espacio de aplicación para la aplicación de circuitos integrados de semiconductores a gran escala.
